Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Schicht und damit Versehenes Substrat

EP3786321 Art A3 17. März 2021

Anmelder: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3786321
Aktenzeichen
EP20192907
Anmeldetag
26. August 2020
Veröffentlichung
17. März 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C30B25/16C30B29/38C23C16/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

Deutsche Universität in Freiburg im Breisgau mit Forschung und Lehre in zahlreichen Fachbereichen, darunter Naturwissenschaften, Medizin und Mikrosystemtechnik.

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🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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