Einen Resistunterschichtfilm Bildende Zusammensetzung, Unterschichtfilm für Lithografie und Mustererzeugungsverfahren

EP3786710 Art A1 3. März 2021

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3786710
Aktenzeichen: EP19792971
Anmeldetag: 26. April 2019
Veröffentlichung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08G79/00G03F7/075G03F7/20G03F7/26H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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