Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten oder Modifizieren der Oberfläche eines Substrates Innerhalb einer Vakuumkammer

EP3787002 Art A1 3. März 2021

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3787002
Aktenzeichen: EP20192770
Anmeldetag: 25. August 2020
Veröffentlichung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H01J37/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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