Transmissionselektronenmikroskop mit mindestens einer Ballistischen Materialstrahlquelle

EP3788645 Art B1 9. November 2022

Anmelder: Centre national de la recherche scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3788645
Aktenzeichen: EP19722833
Anmeldetag: 30. April 2019
Veröffentlichung: 9. November 2022
Erteilung: 9. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/317C30B23/08H01L21/203

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Centre national de la recherche scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von