Positionsmesseinrichtung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3789735

Aktenzeichen

EP19195318

Anmeldetag

4. September 2019

Veröffentlichung

10. November 2021

Erteilung

10. November 2021

Rechtsraum

EP

IPC

G01D5/245G01D5/347

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Positionsmesseinrichtung (10) mit einem Trägerkörper (12) und einer ersten bis dritten Abtasteinheit (20.1 bis 20.3). Eine erste Messteilung (14.1) umfasst mehrere entlang einer ersten Messrichtung (X) periodisch angeordnete Teilungsstrukturen (16.1), wobei sich die Teilungsstrukturen (16.1) der ersten Messteilung (14.1) jeweils parallel zu einer ersten Richtung (P1) erstrecken. Eine zweite Messteilung (14.2) umfasst mehrere entlang einer zweiten Messrichtung (Y) periodisch angeordnete Teilungsstrukturen (16.2), wobei die erste Messrichtung (X) und die zweite Messrichtung (Y) senkrecht zueinander verlaufen. Eine Referenzmarke (18) erstreckt sich in einer zweiten Richtung (P2), wobei die erste Richtung (P1) und die zweite Richtung (P2) einen von 0° verschiedenen Winkel (α) zueinander bilden. Die Positionsmesseinrichtung (10) ist derart ausgebildet, dass in Abhängigkeit von ersten Abtastsignalen (22.1) der ersten Abtasteinheit (20.1) und eines Referenzimpulses (24) der dritten Abtasteinheit (20.3) eine Phasenlage (32) des Referenzimpulses (24) bestimmt wird.

Anmelder

Firma

Dr. Johannes Heidenhain GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete