Vorrichtung zum Beschichten eines Bandförmigen Substrates

EP3791006 Art B1 29. Juni 2022

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3791006
Aktenzeichen: EP19724763
Anmeldetag: 8. Mai 2019
Veröffentlichung: 29. Juni 2022
Erteilung: 29. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67C23C16/46C23C16/54C23C14/34C23C14/50C23C14/54C23C14/56

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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