Verfahren und Vorrichtung zur Teildruckerfassung

EP3791176 Art A1 17. März 2021

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3791176
Aktenzeichen: EP19724055
Anmeldetag: 3. Mai 2019
Veröffentlichung: 17. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01N33/00F26B5/06G01L9/12G01L21/12G01N33/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

425 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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