Spiegel, insbesondere für eine Mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage
EP3791219
Art B9
4. Mai 2022
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3791219
- Aktenzeichen
- EP19725930
- Anmeldetag
- 24. April 2019
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2022
- Erteilung
- 4. Mai 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/08G02B26/08G03F7/20G21K1/06G02B27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
103
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte