Konditionierer für Chemisch-Mechanisches Planarisierungspad und Zugehörige Verfahren
EP3793772
Art A1
24. März 2021
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3793772
- Aktenzeichen
- EP19804058
- Anmeldetag
- 15. Mai 2019
- Veröffentlichung
- 24. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24D3/14B24D3/06B24B53/017
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar