Germaniumtetrafluorid und Wasserstoffgemische für ein Ionenimplantationssystem

EP3794158 Art B1 3. September 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3794158
Aktenzeichen
EP19804460
Anmeldetag
15. März 2019
Veröffentlichung
3. September 2025
Erteilung
3. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/317C23C14/48H01J37/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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