Mehrschichtfilm und Sputtertarget aus Ag-Legierung

EP3795713 Art A1 24. März 2021

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3795713
Aktenzeichen: EP19803357
Anmeldetag: 17. Mai 2019
Veröffentlichung: 24. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34B32B15/01C22C5/06C23C14/06C23C14/08C23C14/14H01B5/14C23C28/00C23C14/18C23C30/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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