Messanordnung zur Frequenzbasierten Positionsbestimmung einer Komponente
EP3803511
Art A1
14. April 2021
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3803511
- Aktenzeichen
- EP19724359
- Anmeldetag
- 30. April 2019
- Veröffentlichung
- 14. April 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01B11/14G01B9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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