Steuerung von Ätzwinkeln durch Substratdrehung bei Winkelätzwerkzeugen

EP3803957 Art B1 2. April 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3803957
Aktenzeichen: EP19811777
Anmeldetag: 17. April 2019
Veröffentlichung: 2. April 2025
Erteilung: 2. April 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213H01L21/67G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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