Rollenvorrichtung zum Führen eines Flexiblen Substrats, Verwendung einer Rollenvorrichtung zum Transportieren eines Flexiblen Substrats, Vakuumverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Flexiblen Substrats

EP3807445 Art A1 21. April 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807445
Aktenzeichen: EP18732715
Anmeldetag: 14. Juni 2018
Veröffentlichung: 21. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C16/54B65H27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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