Rotierender Reaktor zur Gleichmässigen Teilchenbeschichtung mit Dünnen Schichten

EP3807448 Art B1 13. März 2024

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3807448
Aktenzeichen: EP19820231
Anmeldetag: 12. Juni 2019
Veröffentlichung: 13. März 2024
Erteilung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455B01J19/00C23C16/442B01J3/00B01J3/02B01J3/03B01J4/00B01J15/00B01J19/18C23C16/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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