Berechnungsvorrichtung, Detektionssystem, Formvorrichtung, Berechnungsverfahren, Detektionsverfahren, Formverfahren, Berechnungsprogramm, Detektionsprogramm und Formprogramm

EP3808541 Art A1 21. April 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION, TECHNOLOGY RESEARCH ASSOCIATION FOR FUTURE ADDITIVE MANUFACTURING 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3808541
Aktenzeichen
EP18922749
Anmeldetag
13. Juni 2018
Veröffentlichung
21. April 2021
Rechtsraum
EP
IPC
B29C64/386B22F3/105B22F3/16B29C64/153B33Y30/00B33Y50/00B33Y50/02G01N11/00G01N21/00B22F10/32B22F10/322B22F10/34B22F10/36B22F10/366B22F10/37B22F12/90B29C64/393
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
NIKON CORPORATION
TECHNOLOGY RESEARCH ASSOCIATION FOR FUTURE ADDITIVE MANUFACTURING
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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