Stützrahmen für Pellikel, Pellikel, Verfahren zur Herstellung eines Pellikelstützrahmens und Belichtungsvorlageplatte und Belichtungsvorrichtung mit dem Pellikel

EP3809202 Art A1 21. April 2021

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3809202
Aktenzeichen: EP19819860
Anmeldetag: 12. Juni 2019
Veröffentlichung: 21. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/64H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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