Substratträger und Verfahren zum Tragen eines Substrats

EP3810825 Art A1 28. April 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3810825
Aktenzeichen: EP18735534
Anmeldetag: 25. Juni 2018
Veröffentlichung: 28. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/50C23C16/458C23C16/54C23C14/56H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von