Plasmaquelle und Verfahren zum Betrieb davon

EP3811395 Art B1 1. Juni 2022

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3811395
Aktenzeichen: EP19743074
Anmeldetag: 20. Juni 2019
Veröffentlichung: 1. Juni 2022
Erteilung: 1. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32H05H1/24C23C16/54C23C16/513C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von