Verfahren zur Übertragung von mindestens einer Materialschicht von einem Ersten Substrat zu einem Zweiten Substrat

EP3811402 Art B1 31. Juli 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3811402
Aktenzeichen
EP19745693
Anmeldetag
19. Juni 2019
Veröffentlichung
31. Juli 2024
Erteilung
31. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L21/02H10N30/073
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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