Verfahren zur Bildung einer Chemischen Leitstruktur auf einem Substrat, und Chemo-Epitaxie-Verfahren

EP3812347 Art A1 28. April 2021

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3812347
Aktenzeichen: EP20201237
Anmeldetag: 12. Oktober 2020
Veröffentlichung: 28. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: B81C1/00G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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