Flache Plattenprobenhalterungsanordnung zur Verwendung im Vakuum

EP3812760 Art B1 27. September 2023

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3812760
Aktenzeichen: EP18923278
Anmeldetag: 26. Juni 2018
Veröffentlichung: 27. September 2023
Erteilung: 27. September 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N33/00H01J37/18H01J37/20G01N1/00G01L21/00H01J49/04G01N23/2204

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tsinghua University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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