Vorrichtung und Verfahren zur Thermischen Isolierung von Hochtemperaturdrucksensoren
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3814738
- Aktenzeichen
- EP19825807
- Anmeldetag
- 20. Juni 2019
- Veröffentlichung
- 5. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L19/06G01L19/00G01L19/14G01L19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
Kleine, traditionell arbeitende Patentanwaltskanzlei mit Standorten in Wellesley in den USA und London, begleitet US- und europäische Patentverfahren, Übertragungs- und Lizenzverträge sowie vorbereitende Untersuchungen zu Patentverletzungen im Hinblick auf das Einheitliche Patentgericht.