Verwendung von Fliessfähigem Cvd zur Spaltfüllung von Mikro/nano-Strukturen für Optische Komponenten

EP3814811 Art B1 18. Februar 2026

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3814811
Aktenzeichen: EP19829802
Anmeldetag: 17. Mai 2019
Veröffentlichung: 18. Februar 2026
Erteilung: 18. Februar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G02B1/04G02B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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