Schattenmaske mit Konischen Öffnungen, die durch Doppelte Elektroformung mit Reduzierten Inneren Spannungen gebildet Werden

EP3815160 Art A1 5. Mai 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3815160
Aktenzeichen
EP18924260
Anmeldetag
26. Juni 2018
Veröffentlichung
5. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/12C25D1/10H01L51/00H01L51/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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