Vakuumpumpe und Vakuumpumpe-Absaugvorrichtung

EP3816453 Art B1 24. Juli 2024

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3816453
Aktenzeichen
EP19827178
Anmeldetag
13. Juni 2019
Veröffentlichung
24. Juli 2024
Erteilung
24. Juli 2024
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Edwards Japan Limited
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

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