Filmbildendes Material für Lithografie, Filmbildende Zusammensetzung für Lithografie, Unterschichtfilm für Lithografie und Verfahren zur Bildung von Mustern

EP3816728 Art A1 5. Mai 2021

Anmelder: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3816728
Aktenzeichen: EP19825077
Anmeldetag: 24. Juni 2019
Veröffentlichung: 5. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C08F2/48C08F4/04C08F4/38C08F22/40G03F7/20G03F7/26H01L21/027C08F220/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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