Ladungsteilchenstrahlerzeugungsvorrichtung und Ladungsteilchenstrahlvorrichtung

EP3817028 Art B1 2. November 2022

Anmelder: Hitachi High-Tech Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3817028
Aktenzeichen: EP18924517
Anmeldetag: 28. Juni 2018
Veröffentlichung: 2. November 2022
Erteilung: 2. November 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/07H01J37/248

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Tech Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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