Substrat für ein Reflektives Optisches Element

EP3818021 Art B1 23. Oktober 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3818021
Aktenzeichen: EP19742536
Anmeldetag: 5. Juli 2019
Veröffentlichung: 23. Oktober 2024
Erteilung: 23. Oktober 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C03C3/06C03C17/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe

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