Vakuumpumpe mit Durchgangskanal und Vakuumkammer
EP3821134
Art B1
21. Dezember 2022
Anmelder: Edwards Limited 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3821134
- Aktenzeichen
- EP19736449
- Anmeldetag
- 27. Juni 2019
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2022
- Erteilung
- 21. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D27/02F04D29/70H01L21/67F04D19/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Edwards Limited
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte