Fotolackzusammensetzung zur Linienverdoppelung

EP3821297 Art A1 19. Mai 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3821297
Aktenzeichen: EP19833511
Anmeldetag: 1. Juli 2019
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/004G03F7/022G03F7/008G03F7/038G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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