Flächenselektives Atomlagenabscheidungsverfahren und Werkzeug

EP3822389 Art A1 19. Mai 2021

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3822389
Aktenzeichen: EP19208861
Anmeldetag: 13. November 2019
Veröffentlichung: 19. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/04C23C16/54C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

3.524 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von