Zusammensetzung zum Chemisch-Mechanischen Polieren, Spülzusammensetzung, Verfahren zum Chemisch-Mechanischen Polieren und Spülverfahren

EP3823007 Art A1 19. Mai 2021

Anmelder: Entegris, Inc., CMC Materials KK, Nihon Cabot Microelectronics K.K. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3823007
Aktenzeichen
EP19834891
Anmeldetag
12. Juli 2019
Veröffentlichung
19. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02C09G1/02C09K3/14C11D11/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
CMC Materials KK
Nihon Cabot Microelectronics K.K.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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