Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines Optischen Elements
EP3824246
Art A1
26. Mai 2021
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3824246
- Aktenzeichen
- EP19737006
- Anmeldetag
- 24. Juni 2019
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01J9/02G01M11/02G03F7/20G01B11/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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