Alternierende Mehrquellen-Dampftransportabscheidung

EP3824492 Art A1 26. Mai 2021

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3824492
Aktenzeichen: EP19837130
Anmeldetag: 17. Juli 2019
Veröffentlichung: 26. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/06C23C14/22C23C14/24C23C16/40C23C14/50H01L51/00H01L51/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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