Verstärkte, Temperaturgeregelte Bühne

EP3825705 Art A1 26. Mai 2021

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3825705
Aktenzeichen: EP20208446
Anmeldetag: 18. November 2020
Veröffentlichung: 26. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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