Verfahren zur Abscheidung von Elementen auf einem Bestimmten Substrat und Vorrichtung
EP3828131
Art A1
2. Juni 2021
Anmelder: Consejo Superior De Investigaciones Científicas, Universidad De Zaragoza 🇪🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3828131
- Aktenzeichen
- EP19841106
- Anmeldetag
- 25. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 2. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/02C23C16/04C23C16/16C23C16/46C23C16/48H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Universidad De Zaragoza - Land
- 🇪🇸 Spanien
🇪🇸
Consejo Superior de Investigaciones Científicas
Größte staatliche Forschungseinrichtung Spaniens mit Sitz in Madrid, tätig in nahezu allen Wissenschaftsbereichen von Naturwissenschaften bis Geisteswissenschaften. Die Institution (CSIC) betreibt zahlreiche Forschungszentren im ganzen Land.
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