Ladungsteilchenstrahlvorrichtung zur Inspektion einer Probe mit einer Vielzahl von Ladungsteilchenteilstrahlen
EP3828914
Art A1
2. Juni 2021
Anmelder: FEI Company 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3828914
- Aktenzeichen
- EP21150557
- Anmeldetag
- 27. Februar 2019
- Veröffentlichung
- 2. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/09H01J37/12H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FEI Company
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
FEI Company
US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.
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Fachgebiete
Weitere Vertreter
-
Janssen, Francis-Paul
FEI Company · Eindhoven