Elektrodenmikroskop und Verfahren zur Beobachtung einer Probe unter Verwendung davon

EP3828915 Art A1 2. Juni 2021

Anmelder: RIKEN, University Public Corporation Osaka 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3828915
Aktenzeichen: EP19840992
Anmeldetag: 26. Juli 2019
Veröffentlichung: 2. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/26H01J37/04G01N23/20// H01J37/14H01J37/15

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: RIKEN
University Public Corporation Osaka
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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