Kompakter Kopf und Kompaktes System zur Dampfabscheidung

EP3830313 Art B1 25. Mai 2022

Anmelder: Centre national de la recherche scientifique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3830313
Aktenzeichen: EP19742800
Anmeldetag: 30. Juli 2019
Veröffentlichung: 25. Mai 2022
Erteilung: 25. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455B33Y80/00H01L29/49H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Centre national de la recherche scientifique
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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