Kontaktloses Polieren einer Kristallinen Schicht oder eines Substrats durch Ionenstrahlätzen
EP3830321
Art A1
9. Juni 2021
Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3830321
- Aktenzeichen
- EP19759437
- Anmeldetag
- 26. Juli 2019
- Veröffentlichung
- 9. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B29/04C30B33/08C30B33/12C30B29/36C30B29/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.
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Vertreten von
Byrne, Declan
Onex, Schweiz
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