Festkörper-Immersionslinseneinheit und Halbleiterinspektionsvorrichtung

EP3832371 Art A1 9. Juni 2021

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3832371
Aktenzeichen: EP19845351
Anmeldetag: 9. April 2019
Veröffentlichung: 9. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/02G02B7/02G02B7/04G02B21/00G02B21/36H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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