Vorrichtung und Verfahren zur Partikeldetektion und Verfahren zur Herstellung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3835756

Aktenzeichen

EP20212687

Anmeldetag

9. Dezember 2020

Veröffentlichung

20. Juli 2022

Erteilung

20. Juli 2022

Rechtsraum

EP

IPC

G01N15/14G01N15/06G01N21/35G01N21/85G01N21/94

Abstract

Dispositif de détection (D) d'au moins une particule (P) prédéterminée comprenant :- un élément interférométrique (EI) agencé de manière à être illuminé par un rayonnement incident (L_in) et comprenant au moins une couche dite mince (CM) disposée au dessus d'une couche dite substrat (Sub), ladite particule étant accolée à une surface (Sm) de ladite couche mince, l'élément interférométrique (EI) formant une cavité Fabry-Pérot avec ou sans particule P accolée;- un capteur matriciel (Det) adapté pour détecter une image comprennant une première portion (P₁) issue de la détection du rayonnement incident transmis (L_TBG) par l'élément interférométrique seul et une deuxième portion (P₂) issue de la détection du rayonnement incident transmis (L_TP) par l'élement interférométrique et une particule quelconque (O, P) accolée à une surface (Sm) de ladite couche mince;- un processeur (UT) relié au capteur et configuré :- pour calculer, en fonction de longueurs d'onde du rayonnement incident λ_i i∈[1,m], la variation d'intensité d'au moins un premier pixel de la première portion, dite première variation (F_BG) et d'au moins un deuxième pixel de la deuxième portion, dite deuxième variation (F_P),- pour déterminer une évolution, en fonction des longueurs d'onde du rayonnement incident λ_i i∈[1,m], d'un déphasage φ_i entre la première variation et la deuxième variation ;- pour détecter la particule accolée lorsque le déphasage φ_i n'est pas constant en fonction des longueurs d'onde du rayonnement incident λ_i i∈[1,m].

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete