Entgiftungssystem, Entgiftungsvorrichtung und Systemsteuervorrichtung
Anmelder: Edwards Japan Limited, Edwards Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3836191
- Aktenzeichen
- EP19846400
- Anmeldetag
- 5. August 2019
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B9/02G05B19/418G05B19/042H01L21/67B01D53/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Japan Limited
Edwards Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.
291 Patente in unserer Datenbank
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
612 Patente in unserer Datenbank