Entgiftungssystem, Entgiftungsvorrichtung und Systemsteuervorrichtung
EP3836191
Art A1
16. Juni 2021
Anmelder: Edwards Japan Limited, Edwards Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3836191
- Aktenzeichen
- EP19846400
- Anmeldetag
- 5. August 2019
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B9/02G05B19/418G05B19/042H01L21/67B01D53/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Japan Limited
Edwards Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
524 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Norton, Ian Andrew
Burgess Hill, Großbritannien
310
Patente gesamt
18
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte