Verfahren zur Herstellung eines Vias, das an einem Metallblock auf einem Substrat Selbstausgerichtet Ist

EP3836198 Art B1 24. August 2022

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3836198
Aktenzeichen: EP19215615
Anmeldetag: 12. Dezember 2019
Veröffentlichung: 24. August 2022
Erteilung: 24. August 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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