Fotolackfreie Photolithographie, Fotobehandlungswerkzeuge und Verfahren mit Vuv oder Tiefen-Uv-Lampen
EP3837585
Art A1
23. Juni 2021
Anmelder: The Board of Trustees of the University of Illinois 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3837585
- Aktenzeichen
- EP19849642
- Anmeldetag
- 13. August 2019
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/67G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The Board of Trustees of the University of Illinois
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
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