Thermische Gasbuchse für Ionenquelle

EP3837712 Art B1 20. März 2024

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3837712
Aktenzeichen: EP19849081
Anmeldetag: 23. Juli 2019
Veröffentlichung: 20. März 2024
Erteilung: 20. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J27/02H01J37/08H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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