Verfahren zur Bearbeitung von Halbleiterbauelementen

EP3840035 Art A1 23. Juni 2021

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3840035
Aktenzeichen: EP19218166
Anmeldetag: 19. Dezember 2019
Veröffentlichung: 23. Juni 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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