Selbstausgerichtete Kontakte für Nanosheet- und Forksheet-Feldeffekttransistorvorrichtungen mit Wänden

EP3840054 Art B1 5. Juli 2023

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3840054
Aktenzeichen: EP19218708
Anmeldetag: 20. Dezember 2019
Veröffentlichung: 5. Juli 2023
Erteilung: 5. Juli 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/336H01L29/775H01L29/786H01L29/417H01L29/06H01L21/74H01L21/768H01L21/8238H01L23/528H01L27/02H01L27/092// H01L29/423

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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