Verfahren zur Herstellung einer Euvl-Pellikel

EP3842861 Art B1 12. März 2025

Anmelder: IMEC VZW, Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3842861
Aktenzeichen: EP19219382
Anmeldetag: 23. Dezember 2019
Veröffentlichung: 12. März 2025
Erteilung: 12. März 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/62G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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